更新時間：2024-07-23
訪問數量：3014
免費咨詢：86-10-87241391
一、porter熱式氣體質量流量控制器設計特點
熱式原理
一體化設計
滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
響應時間不超過 2 秒鐘
操作壓力可達 20.7MPa
對安裝位置不敏感
316SS 材質，允許測量腐蝕性氣體
無直管段安裝要求
單電源供電
二、porter熱式氣體質量流量控制器技術參數
流量范圍 ：從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具體請參考表一
響應時間 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 滿量程（除 204A 型）
---------± 1± 1.5%.滿量程（ 204A 型）
重 復 性 ： ± 0.2% 滿量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 滿量程）
環境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃
大操作壓力 ： 3000PSIG （ 20.7MPa ），具體請參考資料
零點漂移： ± 0.05 % 滿量程 / ℃
范圍漂移 ： ± 0.05 % 讀數 / ℃
壓力漂移 ： 0.1%/atm （相對于 N 2 ）
安裝方向 ： 對位置不敏感
預熱時間 ： 10 分鐘
電氣連接 ： 卡式 （ 20 針）或 D 型（ 9 針）
設定點輸入流量信號輸出 ：0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA
供應電源 ：
電壓輸出：＋ 12( ± 5 ％ ) （僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出）或 15( ± 10 ％ )VDC
電流輸出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 24( ± 15 ％ )VDC
電流消耗：＜ 250mAdc
重 量 ：請參考表一
三、結構材質
主體： 316SS
傳感器組件 ： 316LSS
孔： 316SS
閥構成部件 （接液）：
302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302SS ， 316SS ， Sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型）
密封材質（" O "型環和閥座）：
Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton （除 202A 、 203A 和 204A 型）；Buna N ， Viton（ 202A 、 203A 和 204A 型）
過程連接： 316SS
四、選型表
型號 | 流量范圍 小/大 N2 | 大操作壓力 PSIG(MPa) | 重量 Ibs(Kg) |
201 | 0-5SCCM/0-10SLPM | 1000(6.9) | 1.2(0.54) |
202 | 0-10SLPM/0-100SLPM | 1000(6.9) | 4.1(1.86) |
221 | 0-5SCCM/0-10SLPM | 3000(20.7) | 4.1（1.86） |
222 | 0-10SLPM/0-100SLPM | 3000(20.7) | 4.1（1.86） |
251 | 0-10SLPM/0-50SLPM | 1000(6.9) | 1.4（0.64） |
202A | 0-10SLPM/0-100SLPM | 200(1.4) | 5.1（2.31） |
203A | 0-100SLPM/0-500SLPM | 200(1.4) | 10.9（4.95） |
204A | 0-500SLPM/0-1000SLPM | 200(1.4) | 10.9（4.95） |
發郵件給我們：info@hammertech.com.cn