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                        產品中心您現在的位置:首頁 > 產品展示 > 流量儀表 > 氣體質量流量控制器 > MCVAlicat帶截止閥質量流量控制器

                        Alicat帶截止閥質量流量控制器

                        簡要描述:

                        Alicat帶截止閥質量流量控制器主要應用于需要有截止功能應用的場合,如真空鍍膜及磁控濺射工藝,這個閥是常閉閥,擁有極低的泄漏率。

                        更新時間:2023-01-05

                        訪問數量:1934

                          免費咨詢:86-10-87241391

                          發郵件給我們:info@hammertech.com.cn

                        一、Alicat帶截止閥質量流量控制器產品特點

                        1、50毫秒內完成穩定的控制響應

                        精確、穩定的流量取決于控制響應速度,艾里卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值??焖?、可重復、穩定!

                        擁有可靠的穩定性及響應速度,艾里卡特?質量流量控制器總是一擊擊中,為快的質量流量控制器!采用艾里卡特?的層流壓差流量測量技術與高速比例控制閥相結合,使得到達設定值的速度遠遠快過您眨一下眼。

                        2、操作便捷

                        ?     50-100毫秒控制響應

                        ?     允許用戶自行調節PID以獲得的速度和穩定性

                        ?     定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩定性

                        ?     同一臺設備控制質量流量、體積流量或壓力

                        ?     瞬間啟動、無需預熱:1秒內即可開始流量控制

                        二、Alicat帶截止閥質量流量控制器產品系列

                        MC 標準系列

                        控制響應快、穩定的流量控制器。

                        MCR 大流量系列

                        精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。

                        MCW / MCRW 低壓損系列

                        大限度減小壓損對系統的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特?Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環境氣體分析等應用的選擇;大量程:0-500 slpm。點擊這里了解更多關于Whisper系列

                        MCS / MCRS 耐腐蝕系列

                        所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列

                        MCE / MCV 半導體行業系列

                        可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統兼容,封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ,專門用于真空應用??啥ㄖ葡鄳姆栏g系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業系列

                        MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

                        *雙向質量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量??啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列

                        三、常用選配項

                        ?     后置閥門,優化真空及背壓應用的控制

                        ?     批量控制模式,依靠快速的閥門響應來分配流量,包含在累加器(TOT)功能中

                        ?     CSA認證12 / ATEX認證12區允許設備用于危險環境

                        ?     9針或15D-Sub等連接接口可選

                        ?     通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

                        ?     彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

                        四、性能參數

                        指標

                        質量流量控制器

                        量程

                        0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

                        精度

                        ±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

                        重復性

                        ±0.2%

                        量程比

                        200:1

                        響應時間

                        100ms

                        標準狀態(STP)

                        25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

                        溫度范圍

                        -10~50

                        零點漂移

                        0.02%

                        量程漂移

                        0.02%

                        濕度范圍

                        0-100%

                        測量流量范圍

                        128%(過流率)

                        大耐壓

                        145psi

                        輸出信號(數字)

                        質量流量、體積流量、壓力和溫度

                        數字信號可選

                        RS485,Modbus,Profibus

                        輸出信號(模擬)

                        質量流量、體積流量、壓力和溫度

                        模擬信號可選

                        0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

                        電氣連接

                        8針/9針/15針(根據不同類型流量計而定)

                        供電電壓

                        7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)

                        供電電流

                        0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A)

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