更新時間：2024-07-23
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一、PORTER熱式質量流量計設計特點
· 熱式原理
· 一體化設計
· 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
· 響應時間不超過 2 秒鐘
· 操作壓力可達 20.7MPa
· 對安裝位置不敏感
· 316SS 材質，允許測量腐蝕性氣體
· 無直管段安裝要求
· 單電源供電
二、PORTER熱式質量流量計技術參數
流量范圍 ：從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具體請參考表一
響應時間 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 滿量程（除 204A 型）
---------± 1± 1.5%.滿量程（ 204A 型）
重 復 性 ： ± 0.2% 滿量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 滿量程）
環境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃
大操作壓力 ： 3000PSIG （ 20.7MPa ），具體請參考資料
零點漂移： ± 0.05 % 滿量程 / ℃
范圍漂移 ： ± 0.05 % 讀數 / ℃
壓力漂移 ： 0.1%/atm （相對于 N 2 ）
安裝方向 ： 對位置不敏感
預熱時間 ： 10 分鐘
電氣連接 ： 卡式 （ 20 針）或 D 型（ 9 針）
設定點輸入流量信號輸出 ：0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA
供應電源 ：
電壓輸出：＋ 12( ± 5 ％ ) （僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出）或 +15( ± 10 ％ )VDC
電流輸出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )VDC
電流消耗：＜ 250mAdc
重 量 ：請參考表一
三、PORTER熱式質量流量計結構材質
主體： 316SS
傳感器組件 ： 316LSS
孔： 316SS
閥構成部件 （接液）：
302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302SS ， 316SS ， Sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型）
密封材質（" O "型環和閥座）：
Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton （除 202A 、 203A 和 204A 型）；Buna N ， Viton （ 202A 、 203A 和 204A 型）
過程連接： 316SS
四、PORTER熱式質量流量計選型表
| 型號 | 流量范圍 小/大 N2 | 大操作壓力 PSIG(MPa) | 重量 Ibs(Kg) |
| 111 | 0-5SCCM/0-10SLPM | 1500(10.3) | 0.9(0.41) |
| 112 | 0-10SLPM/0-100SLPM | 1500(10.3) | 2.1(0.95) |
| 113 | 0-100SLPM/0-500SLPM | 1500(10.3) | 5.2（2.4） |
| 114 | 0-500SLPM/0-1000SLPM | 1500(10.3) | 6.6（3.0） |
| 121 | 0-5SCCM/0-10SLPM | 3000 (20.7) | 0.9（0.41） |
| 122 | 0-10SLPM/0-100SLPM | 3000(20.7) | 2.1（0.95） |
| 123 | 0-100SLPM/0-500SLPM | 3000(20.7) | 10.8（4.9）
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